Calibre OPCsbar
スキャッタリング・バー(SB)とは、レチクル上のパターンのエッジ近くに配置される、解像されない微小な位相またはクロムの棒状パターンを指します。ASB(Anti-Scattering Bar)はSBの反対で、パターン内に埋め込まれます。SBとASBによって孤立パターンなどの空間像のスロープが変化し、緻密なパターンと同等のスロープが得られます。SBによってピッチの全範囲で最適なDOFが維持され、収差やCDばらつきが抑えられます。
Calibre OPCsbarの使用により、シミュレーション、検証のために設計階層を維持したままSBを追加できます。SBの実装は、Calibre OPCsbarまたはカスタムのCalibreスクリプトで行えます。Calibre OPCsbarには、優先度に基づいた高度な「クリーンナップ」オプションがあり、SBが重複する場合に、どのSBを残すかを決めることができます。
データシート
- Calibre RET (PDF, 2.3MB)
ツールボックス
- 技術文献 : Fast and Simple Modeling of Non-Rectangular Transistors
- 技術文献 : No-forbidden-pitch SRAF rules for advanced contact lithography
お問い合わせ
- 製品情報リクエスト