Calibre OPCsbar

スキャッタリング・バー(SB)とは、レチクル上のパターンのエッジ近くに配置される、解像されない微小な位相またはクロムの棒状パターンを指します。ASB(Anti-Scattering Bar)はSBの反対で、パターン内に埋め込まれます。SBとASBによって孤立パターンなどの空間像のスロープが変化し、緻密なパターンと同等のスロープが得られます。SBによってピッチの全範囲で最適なDOFが維持され、収差やCDばらつきが抑えられます。

Calibre OPCsbarの使用により、シミュレーション、検証のために設計階層を維持したままSBを追加できます。SBの実装は、Calibre OPCsbarまたはカスタムのCalibreスクリプトで行えます。Calibre OPCsbarには、優先度に基づいた高度な「クリーンナップ」オプションがあり、SBが重複する場合に、どのSBを残すかを決めることができます。