スキャッタリング・バー（SB）とは、レチクル上のパターンのエッジ近くに配置される、解像されない微小な位相またはクロムの棒状パターンを指します。ASB（Anti-Scattering Bar）はSBの反対で、パターン内に埋め込まれます。SBとASBによって孤立パターンなどの空間像のスロープが変化し、緻密なパターンと同等のスロープが得られます。SBによってピッチの全範囲で最適なDOFが維持され、収差やCDばらつきが抑えられます。