Calibre WORKbench

Calibre WORKbenchは、高精度なプロセスモデルや量産環境に対応したツール・セットアップ・ファイルを容易に作成できる環境を提供します。承認済みのモデルとセットアップ・ファイルを製造部門にハンドオフすると、即座にICレイアウトのRET処理に取り掛かることができます。Calibre WORKbenchでは、測長用のテストパターンの作成や、モデルとセットアップ・ファイルのテスト、確認するためのテスト・ジョブが実行できます。Calibre WORKbenchには大容量のGDSIIとフラクチャ・フォーマットに対応した高速のレイアウト・ビューアも用意されており、リソグラフィのシミュレーションとビジュアル表示を、対話型形式で容易に行うことができます。

特長と利点

Calibre WORKbenchは高度なセル・ライブラリ設計にも使用でき、一般的なレイアウト・エディタとも高い親和性を持っています。Calibre WORKbenchの主な特長は以下の通りです。

  • 標準およびカスタムの光源をサポート(tophat、annular、quadruple、QUASAR、dipole、custom)
  • high-NAベクタ・モデリング、TCCcalc用の薄膜スタック生成
  • GDSIIと各種フラクチャ・フォーマットに対応した高速なレイアウト・ビューアをリソグラフィ・シミュレータやエディタに統合
  • CM1/VT5により、ユーザ定義のイメージ・パラメータを使用した高度なプロセスモデル(フォトレジスト、エッチングなど)
  • シミュレーション・レイアウト・ビュー:光強度マップ、ウエハ上のプリントイメージ、フラグメンテーション・サイト、光強度マップの2D断面図、多階層のプリントイメージ・コンター像
  • 簡単なテスト用に、指定した狭い範囲に対するCalibreバッチ・ツールの実行をサポート

関連製品

  • Calibre nmMPC 電子ビーム・マスク描画装置専用の最適化ツール