Calibre MDP - マスクデータ処理

メンター・グラフィックスのマスクデータ処理(MDP)ソリューションはCalibreプラットフォームと完全な互換性があり、RET処理やマスクデータのフォーマット変換のすべての作業を単一の制御言語を使用して一度のバッチ処理で一括してマスクデータ変換まで完了できます。

特長

  • レイヤ抽出
  • ミラーリング
  • スケーリング
  • 回転
  • ダミー・フィル
  • グローバルおよび部分的なサイジング
  • 階層型のマスク・ルール・チェック(MRC)
  • マスク近接効果補正(MPC)
  • 多くの標準出力フォーマットへのマスク・フラクチャリング

マスクデータ処理(MDP)

技術概要: 最新のプロセス・ノードにおけるマスク製造の新たな課題を解決する手段として、フラクチャリングやマスク検証ツールなどで構成されるCalibreの最新ソリューションをCalibre MDP Product Manager、Steffen Schulzeが紹介します。 技術概要を見る

Calibre MDPは、標準のGDSIIに加え、MEBES、JEOL、Micronic、VSB(Variable-Shaped-Beam)など、サブウェーブレングス時代のリソグラフィにおける主要なマスク描画装置のフォーマットに直接変換できます。

製品

  • Calibre FRACTURE マスクデータ・フラクチャリング・ツール
  • Calibre MDPmerge VSB11ジョブデックを完全なチップにアセンブル
  • Calibre MDPverify マスク描画フォーマットとGDSIIの照合検証
  • Calibre MDPview マスク描画フォーマット・ビューア
  • Calibre MAPI マスク・メトロロジ・アプリケーションの開発のためのプログラミングAPI
  • Calibre MASKOPT OPC後のマスク・ショット・カウントを削減/最適化