Calibre MAPI
Calibre MAPIは、Calibre MDPviewで利用できるtclプログラミング言語セットを拡張し、マスク計測に適した位置情報の抽出および検証のための専用関数を追加したものです。
Calibre MAPIは、ユーザがカスタム・アプリケーションをプログラミングする際の基盤を提供します。コマンド・セットには、サイズ、種類(ライン、コンタクト)、方向、トーンなどのパターン特性をユーザが指定するランダム・サーチも含まれます。また、過去に定義した位置を検証できるローカル・サーチ機能もあります。このほか、マスク全体で一致するパターンの数と分布を任意の値に制限する関数も用意されています。それぞれの位置情報に対して、各種フォーマットのイメージと合わせてレイアウト・パラメータを抽出し、使用する装置のフォーマットに準じたファイルとして出力できます。
機能と利点
- 計測プロセスの効率と信頼性が向上。
- Calibre解析プログラムとの連携が可能。
- コード再利用によるアプリケーション開発の合理化。
- 基本的なタスクから短時間で計測アプリケーションをカスタマイズ可能。
- 計測アプリケーションの一貫性を維持し、冗長性を最小化。
関連製品
- Calibre MDPview マスク描画フォーマット・ビューア
データシート
- Calibre MAPI (PDF, 1MB [英語])
ツールボックス
- 技術文献 : データ・プレパレーションとマスク製造装置を連携するユーザ・プログラマブルなリンク
- 技術文献 : フォトマスク・レイアウト・データを使用したパターン・マーキングから開始される空間像ベースの自動CD計測
- 技術文献 : OASISをベースとしたマスクデータ表現の統一
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