Calibre MDPmerge

Calibre MDPmergeにより、物理検証、RET処理からマスクデータ準備完了までの工程が連続したフローとなります。Calibre FRACTUREで個々のパターンファイルを高速なマスク描画と精密なCD制御が可能なVSB11フォーマットに出力した後、Calibre MDPmergeによってジョブデックをアセンブルすると完全なチップが完成します。

 

Calibre MDPmergeは描画シーケンスを合理化するとともに、近接効果を正確に補正してフローを最適化します。Calibre MDPmergeはCalibreの階層型ジオメトリ処理エンジンをベースに、並列処理技術を採用することによって処理速度を向上させ、効率的なマスク描画が行えるように出力を最適化します。

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