Calibre MDPverify

Calibre MDPverifyは、マスク描画データと元のGDSII定義を照合し、最終的なマスク描画データへのエラーの混入を防ぎます。Calibre MDPverifyでは、修正内容が最終的なマスクデータに反映されているかどうかをフラクチャリング工程から切り離して、設計データに対する更新の確認が行えます。

Calibre MDPverifyはGDSII以外にもMEBESやJEOLフォーマットに対応しており、これらフォーマットの任意の組み合わせを相互チェックできます。Calibre MDPverifyはマルチスレッドに対応しているほか、ファイル処理方法を工夫することによって処理の高速化を図っています。チェック結果は自動的に分類と評価が行われ、Calibre RVE(Result Viewing Environment)で検査できます。

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