Calibre MDPview

Calibre MDPviewは、GDSIIおよびOASISフォーマットに加え、一般的なマスク描画装置のパターン・フォーマットの設計データも、それぞれに対応するジョブデックを使用して表示します。

Calibre MDPviewは、Calibre MDP fractureツールセットを補完し、ビジュアルな検証およびアセンブル機能を提供します。Calibre MDPviewとCalibre RVE™を連携させ、CalibreMDPverify™によるマスクルール・チェックで問題点として指摘されたエリアを確認することも可能です。Calibre MDPviewは、エラー箇所を表示して、影響を受けるパターン部位を拡大および強調表示させる機能を持っています。また、マスクデータ・ファイルを重ね合わせて表示できるオーバーレイ機能により、さらに詳しい解析も可能です。パターンファイルの特性評価を実行する統計ユーティリティもあります。多数のGDSII入力ファイルを1つのデータベースにアセンブルするといった繰り返し処理は、マクロやスクリプトを作成してバッチモードで実行できます。

特長と利点

  • GDSIIおよびOASISファイルに加え、MEBES、JEOL、Toshiba/Nuflare、Hitachi、Micronicなど多くの描画装置フォーマットに対応したファイルやジョブデックを表示可能
  • ブラウザ感覚の手軽な操作。スムーズなズーム/パン機能による効率的なナビゲーション
  • 結果表示環境のCalibre RVEと連携し、マスクルールのチェック結果を短時間で確認
  • パターンファイルに対する高レベルの評価を短時間で行うパターンファイル情報ユーティリティ
  • セグメントやフィールドなど、パターンファイルの内部構造を表示する専用の表示モード
  • すべてのファイル・フォーマットとジョブデックに対応した柔軟なオーバーレイ・ユーティリティ
  • ルールベースの計測機能
  • GDSアセンブリおよび配置タスクなど、バッチモードのレイアウト操作をサポート
  • 複数のレイアウトを同時にロード
  • 内蔵のマクロ機能により、レイアウト機能のカスタマイズに対応

関連製品

  • Calibre FRACTURE マスクデータ・フラクチャリング・ツール
  • Calibre MDPverify マスク描画フォーマットとGDSIIの照合検証
  • Calibre RVE 検証結果をCablire DESIGNrevや一般的な設計レイアウト・ツールへ表示するためのインタフェース。ユーザの使い慣れた設計環境で設計エラーを即座に視覚化し、デバッグ時間を短縮