Calibre MPCpro

Calibre MPCproは、電子ビーム・リソグラフィとマスク・エッチング・プロセスで混入するシステマティック・エラーに対応したソリューションで、Calibre OPCproのOPC技術をベースに開発されています。Calibre MPCproは、フォギング効果や近接効果などのマスク製造のプロセスを補正します。

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