Calibre LFD

Calibre LFD (Litho Friendly Design)は、リソグラフィ・プロセスのばらつきの問題に設計の早期段階で対処したいという急速なニーズの高まりに応えた初の量産環境対応EDAツールです。Calibre LFDは、図面上のレイアウト・データに対するリソグラフィ・プロセスの影響を正確にモデリングし、実際の製造におけるゲートやメタル配線の寸法を決定します。

Calibre LFDでは、実際にレイアウトの幾何学形状を作成した場合にリソグラフィ・プロセスから受ける影響を正確にシミュレーションできるので、設計者は早期にトレードオフの決定を下すことができ、リソグラフィ・プロセス・ウィンドウの影響を受けにくくロバスト性の高い設計が可能になります。ナノメータ・ノードではごくわずかなプロセスばらつきでもシリコン結果に大きな影響が及ぶため、このレベルでの解析は特に重要になります。

最も高い歩留まり改善が見込める箇所を特定

Calibre LFDではレイアウトの「ホットスポット」、すなわちリソグラフィ・プロセスのばらつきによる不良発生の可能性が高い構造を特定してそれぞれがランク付けされるので、どの部分で最も大きな歩留まり改善が見込めるかを判断できます。Calibre LFDの結果をOlympus-SOCに送ると、設計者はレイアウト改善に関する推奨情報を得られ、レイアウト修正後にタイミング検証を再度実行できます。

正確なリソグラフィ・モデリング

Calibre LFDを使用して正確なリソグラフィ・モデリングが行えるように、各ファウンドリからはDRC(設計ルールチェック)キットと同様、自社プロセスに対応したLFDキットが提供されます。設計者はこのキットを使用してシミュレーションを行い、ファウンドリの特定のリソグラフィ・プロセスを使用した場合のレイアウトの性能を正確に確認できます。ここでの目標は、単に「DRCクリーン」だけでなく「LFDクリーン」なサインオフを達成することにあります。Calibre LFDキットを使用すると、作成した設計に対してファウンドリ固有の情報に基づいてCalibre LFDの検証を実行できるため、リソグラフィ上のホットスポットがないことを確認してからファウンドリの製造プロセスに引き渡せます。

特長と利点

  • 「DRCクリーン」および「LFDクリーン」なサインオフが実現
  • 使用する製造プロセスのばらつきに影響されにくい設計が作成できるため、歩留まりを向上
  • 量産環境で実績のあるRETレシピとプロセス・モデルを使用してリソグラフィ効果をシミュレーション
  • 製造プロセスおよび特定のプロセス条件下で欠陥発生の可能性がある箇所をLFDキットで予測、捕捉して、設計者に問題点を知らせることによってレイアウト修正が可能
  • プロセスばらつきに対するロバスト性が最も高いレイアウト構成を判断するのに役立つデータをDVI(Design Variability Index)として提供
  • DRCと同様のユーザ・フレンドリな形式で提供されるLFDデータのレポートを、設計環境内で分類、選別して、改善方法に関するコメントを記入可能
  • 対話型および反復型プロセスの設計フローへの統合が容易
  • Calibreプラットフォーム、一般的なレイアウト環境、業界標準フォーマットと完全に統合

関連製品

  • Calibre RVE すべてのCalibreツールおよび一般的な設計レイアウト・ツールと組み合わせて使用可能なグラフィカルRVE(Results Viewing Environment)。ユーザの使い慣れた設計環境で設計エラーを即座に視覚化し、デバッグ時間を短縮します。
  • Calibre DESIGNrev 大規模なGDSIIファイルやOASISファイルの読み込み、表示、保存が高速に行えるレイアウト・エディタ。フルチップの設計完了およびテープアウトまでの期間短縮に貢献します。