STARCがCalibre YieldAnalyzerをリファレンスCritical Area抽出ツールとして使用
2007年01月23日
メンター・グラフィックス・コーポレーション(本社米国オレゴン州、日本法人メンター・グラフィックス・ジャパン株式会社:本社東京都品川区、コー ポレート・ヴァイス・プレジデント:パトリック・ウィリアムス、以下メンター・グラフィックス)は本日、日本の大手半導体企業11社により設立された研究 開発コンソーシアムである株式会社半導体理工学研究センター(STARC)がCalibre DFMの機能であるCAA(Critical Area Analysis) をリファレンスとして使用することを発表しました。
今回の導入はSTARCの「STARCAD-CEL (One step ahead of DFM)」として、歩留り考慮設計メソドロジ開発のために、パーティクルに起因する歩留り低下を正確に予測し、よりロバストな設計を実現するものです。
ナ ノメータ・テクノロジが90nm、65nmノードに進む中、その製造コストは膨大なものとなり、数パーセントの歩留まり低下によるコストが無視できないも のとなってきています。歩留まり低下は、工場内のゴミや、プロセス工程上で発生するウエハー上の欠陥がパターンのオープン、あるいはショートを引き起こす ことにより生じます。各プロセス工程によって異なる欠陥密度、および最適化されたイールドモデルを用い、レイアウトパターンから精度よくCAAを抽出計算 し、製造前のイールドを予測できることによって、よりロバストなパターン設計が可能となります。
「これまでの評価により、Calibre YieldAnalyzerが高精度なCritical Area抽出ができることが判りました。今後はCritical Areaの抽出と歩留り予測に留まらず、より効率的な設計改善を行うためのリファレンスツールとして使って行きます。」とSTARC 執行役員開発第1部長の西口信行氏は語っています。
「STARCコンソーシアムからの高精度なCAA抽出の提案は、Calibre DFMのYieldAnalyzerによって実現できると考えます。そしてこのCalibre YieldAnalyzer 導入を通じてSTARCと我々のお客様に対して有効なソリューションを提供できることを期待しています。」とメンター・グラフィックス・ジャパンのCorporate Vice President, Patrick Williamsはこのように述べています。
メンター・グラフィックス
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