2005年11月01日

メンター・グラフィックス・コーポレーション（本社米国オレゴン州、日本法人メンター・グラフィックス・ジャパン株式会社：本社東京都品川区、コー ポレート･ヴァイス・プレジデント：パトリック・ウィリアムス、以下メンター）は本日、歩留まり診断ツールYieldAssistのリリースを発表しまし た。歩留まり低下の原因となる欠陥を迅速かつ正確に発見、切り分ける機能により、YieldAssistは半導体製造工程の歩留まりを向上し、メンターの DFT（Design-for-Test）製品ポートフォリオならびにプラットフォームを従来のテスト生成と欠陥検出の範囲を超えて大きく拡張するもので す。この製品は故障情報をテスタから取り込み、高度な診断機能により、故障の原因を洗い出し、歩留まり習熟を促進するとともに何週間もかかっていたマニュ アルでの解析作業を解消します。

スキャンテストの故障情報を正確に診断することは故障解析の基本であり、ナノメータ・テクノロジの微細化がさらに進む今日、歩留まり習熟と歩留まり改善を行う上できわめて重要性が高まっています。

ナノメータ時代の歩留まり向上には、設計から製造までのフロー全ての側面をカバーしたソリューションが必要です。製造テストのプローブテスト段階で故障の 出たデバイスは歩留まりおよび故障解析を行うエンジニアにとって情報の宝庫です。YieldAssistを使用することにより半導体製造メーカーはこの情 報を集め、システマチック／ランダムな欠陥の両方を見つけ出し、故障解析と歩留まり向上を効率的に行うことができます。また、設計プロセスへのリンクを提 供することにより、DFM（Design for Manufacturability）の改善、ならびに製造テストそのものを適応的に改善し、DPM（Defect per Million）レートの低減に貢献します。

YieldAssistによって推進される全体的な歩留まりの傾向／モニタリングにより、総合的な歩留まり改善ソリューションに必要となる３つの主要な領 域、すなわち高品質なテスト、効率的な欠陥の切り分け、高速かつ大容量な診断、がカバーされます。ATPG（Automatic Test Pattern Generator）ツールTestKompress あるいはFastScanツールは欠陥検出及び診断のための基盤を提供します。製造テストからの故障データに基づいて、YieldAssistは故障の原 因を切り分け、欠陥の疑われる個所を特定します。メンターのCalibre RVE (result viewing environment)を使用することにより、ユーザーは欠陥が疑われる個所を物理設計レイアウト・ビューで確認し、問題の原因がどの物理的なパターン にあるかを確認できます。また、TestKompressで生成される圧縮されたテストパターンから故障ログを直接読み取ることにより、高速かつ大容量な 診断を製造環境で実現します。これにより量産テストデータを使用した直接的な故障診断を効率的に行うことができ、診断目的のためだけに特別なテストを実行 するためのコストが発生しません。

メンターのDesign Verification and Test Division、Vice President and General ManagerのRobert Humは次のように述べています。「故障解析は、優れたツールを使用することで大きな効果が得られる分野であり、成長市場です。欠陥の疑いをより細かく切 り分け、これらをすばやく物理設計にリンクして解析を行うことのできる診断ツールに対する根強いニーズが存在します。YieldAssistはDFT技術 の飛躍的進歩であり、半導体故障解析を劇的に高速化するとともに、歩留まり習熟と歩留まり監視にとってきわめて重要な役割を果たすものです」。

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●	テストソリューション について
		http://www.mentorg.co.jp/products/silicon-yield/index.html

E-mail: mktg_mgj@mentor.com