Tessent Diagnosis

Tessent Diagnosisは、正確で高分解能のテスト故障診断を実行し、各故障について最も可能性の高い不良メカニズム、およびその論理位置、物理位置を特定します。

 

このツールは、製造テストから得た故障データ、スキャンテストパターン、設計情報を利用し、不良の原因となっている欠陥の位置を特定、分類します。製造テストで不良と判定されたデバイスを詳細に解析することにより、不良解析の労力が大幅に軽減されることが実証されており、診断ドリブン歩留まり解析フローを実現します。

特長と利点

  • 製造テストで不良の原因を解析、欠陥の発生位置と種類を特定することにより物理不良解析を加速
  • 診断ドリブン歩留まり解析フローを実現
  • 遅延故障も精確に診断
  • TSMCおよびUMCのリファレンスフローにも採用されている安心のファウンドリ互換性
  • レイアウトを考慮診断機能により診断結果の精度と分解能をさらに改善
  • Tessent TestKompressで圧縮されたテスト結果でも直接診断可能

Tessent Diagnosis

Tessent Diagnosisは、テスタでフェイルしたチップ上の欠陥の位置と種類を素早く特定します。これは診断ドリブンの歩留まり解析と故障解析の基盤となります。

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