Tanner MEMS設計フローは、MEMSの設計/製造を支援する単一統合環境です。MEMSデバイスとアナログ/ミックスシグナル処理回路を簡単にICに統合します。ファウンドリ認定を受けたこの設計フローに基づいてメカニカル/熱/音響/電気/静電気/磁気/流体を解析することで、製造性の高いMEMSデバイスを実現します。
- MEMS 3Dモデルをレイアウト設計データから作成できるインタフェース
- 曲線ポリゴンなどMEMSの特性を考慮した、高度にプログラム可能なレイアウトエディタ
- MEMSの製造性を考慮したDRC(デザインルールチェック)
- IC設計とMEMSデバイスをシステムレベルでシミュレーション
- レイヤと設計ジオメトリを完全可視化
- MEMSデバイスの動作モデルを自動生成
- DXFフォーマットのインポートとエクスポート機能(インポート時には境界線を再整形)
- WindowsとLinuxの両プラットフォームに対応、かつ、英語/日本語/中国語のグラフィカルインタフェースに対応