Tanner MEMS設計フローは、MEMSの設計／製造を支援する単一統合環境です。MEMSデバイスとアナログ／ミックスシグナル処理回路を簡単にICに統合します。ファウンドリ認定を受けたこの設計フローに基づいてメカニカル／熱／音響／電気／静電気／磁気／流体を解析することで、製造性の高いMEMSデバイスを実現します。
- MEMS 3Dモデルをレイアウト設計データから作成できるインタフェース
- 曲線ポリゴンなどMEMSの特性を考慮した、高度にプログラム可能なレイアウトエディタ
- MEMSの製造性を考慮したDRC（デザインルールチェック）
- IC設計とMEMSデバイスをシステムレベルでシミュレーション
- レイヤと設計ジオメトリを完全可視化
- MEMSデバイスの動作モデルを自動生成
- DXFフォーマットのインポートとエクスポート機能（インポート時には境界線を再整形）
- WindowsとLinuxの両プラットフォームに対応、かつ、英語／日本語／中国語のグラフィカルインタフェースに対応
主なリソース
特長
高度な3D解析ツール
メカニカル、熱、音響、電気、静電気、磁気、流体の各種解析にインタフェース
複雑な多角形のブーリアン演算
エラーを削減し、生産性を向上
パラメタライズドセルを使用してレイアウトを自動生成
処理の高速化と配布用にコンパイル可能なパラメタライズドセルはC++言語またはTCL言語で記述可能。また、外部インタフェースに対応
高度なマスクレイアウトと検証フロー
MEMSファウンドリが認める多様なプロセスに対応可能